WATOM 晶圓尺寸測量系統

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  晶圓邊緣量測系統-極高精度

  Wafer Edge Measurement-pinpoint precise

  WATOM LS

  隨著半導體產業圖形尺寸持續微縮，對材料品質的要求也越來越嚴苛。為因應晶圓品質不斷提升的需求，KoCoS Optical Measurement 開發了 WATOM —— 一套用於晶圓邊緣與缺口輪廓量測的設備，開啟了高精度晶圓幾何量測的新時代。
   

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  晶圓邊緣量測系統-可靠的投影式技術

  Wafer Edge Measurement-Reliable Projection Technology

  WATOM CCD

  WATOM CCD 採用輪廓投影技術，作為 LS 雷射掃描技術的替代方案，特別適合量測需求較不嚴苛的邊緣輪廓應用，尤其適用於不需要進行缺口量測的情境。系統利用 CMOS 相機，擷取由遠心光源（Telecentric Light Source）照明後的晶圓邊緣輪廓影像，確保量測穩定性與可靠性。
   

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  WATOM T

  WATOM T 是一款緊湊、經濟的替代方案，適用於無自動化需求的應用場景，同時仍能提供與其他 WATOM 系列系統相同的量測品質、製程可靠度與量測精度。
   

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