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晶圓邊緣量測系統-極高精度
Wafer Edge Measurement-pinpoint preciseWATOM LS隨著半導體產業圖形尺寸持續微縮,對材料品質的要求也越來越嚴苛。為因應晶圓品質不斷提升的需求,KoCoS Optical Measurement 開發了 WATOM —— 一套用於晶圓邊緣與缺口輪廓量測的設備,開啟了高精度晶圓幾何量測的新時代。
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LOTOS LC / LT-3D 測量系統
LOTOS LC/LT-3D measurement systemLOTOS LC/LT高度彈性且具成本效益的標準型測量系統。獨立式系統配備高度可調式操作觸控螢幕與整合式評估單元。適用於生產環境,同時也適合用於實驗室或量測室。
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三相電表測試系統
Three phase measurement test systemMETES 325METES 325 是一款專為現場使用設計的測試設備,可涵蓋所有電表相關作業,包括電表安裝、啟用與驗收、維護、單相與三相電能表的校正、電表安裝稽核。本裝置具備強大的內建資料儲存功能,選單式操作介面供使用者選擇功能,並可搭配 KoCoS SmartProbe 技術。
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適用純歐姆負載的高精度微歐姆計
High-accuracy micro-ohm meters up to 600 A for ohmic loadsPROMET R300 | R600PROMET R300 與 PROMET R600 為高精度、高準確度的歐姆計,可提供最高 600 A 的可調測試電流,且測試電流不受供電電壓影響。加入諮詢加入諮詢 -
電力品質分析儀
Power Quality AnalyzerEPPE CXEPPE CX 非常適合用於全自動電力品質監測,並可將連續量測資料即時傳輸至中央資料系統。系統可自動進行評估,且內建警報系統,當發生故障時可即時通知負責人員。
透過彈性的量測任務設定,EPPE CX 可依使用者的個別需求與應用進行客製化。裝置提供 4 組電壓輸入、4 組電流輸入,以及 5 組額外感測器輸入,使其在應用上具備極高的彈性。
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三相電源信號產生器
Power sourcesEPOS 360多功能三相信號產生器
EPOS 360 是一款多功能三相信號產生器,專為需要高輸出功率與高信號精準度的應用而設計。其採用智慧型放大器技術與全數位合成信號產生方式,可在寬頻範圍內輸出任意波形,甚至可重播複雜暫態信號特性。
EPOS 360 可作為獨立設備運行,或透過外接電腦控制操作。
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保護電驛測試系統
Protection Relay TestingARTES 600ARTES 600 是一款緊湊且通用的解決方案,可用於測試各種類型的保護電驛。由於配備內建控制面板、重量輕且運轉噪音低,這款堅固的測試系統可靈活應用於現場測試及實驗室環境。
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固定式開關設備測試系統
Stationary Switchgear Testing SystemACTAS CF80ACTAS CF80固定式測試系統,用於最多 8 組驅動裝置的連續最終出廠測試與功能測試。該驅動測試系統由 ACTAS 操作軟體進行操作與控制,並透過多工方式選擇測試位置。測試系統可藉由邏輯模組模擬驅動控制,即使在無控制單元的情況下,也能對任意驅動裝置進行測試。
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晶圓邊緣量測系統-可靠的投影式技術
Wafer Edge Measurement-Reliable Projection TechnologyWATOM CCDWATOM CCD 採用輪廓投影技術,作為 LS 雷射掃描技術的替代方案,特別適合量測需求較不嚴苛的邊緣輪廓應用,尤其適用於不需要進行缺口量測的情境。系統利用 CMOS 相機,擷取由遠心光源(Telecentric Light Source)照明後的晶圓邊緣輪廓影像,確保量測穩定性與可靠性。
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LOTOS O-3D測量系統
LOTOS O – 3D measurement systemLOTOS-O開放式量測工作站,適合用於實驗室、量測室以及潔淨製造環境。可依精度、量測速度與評估方式需求進行高度彈性化配置。最重要是,LOTOS O 系統價格十分經濟。
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